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1700℃ CVD系統(tǒng)
該常規(guī)型CVD設(shè)備是由1700℃管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和真空泵系統(tǒng)組成，用戶可以選配不同型號(hào)的爐子和氣路系統(tǒng)搭配不同的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。
該常規(guī)型CVD設(shè)備是由1700℃管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和真空泵系統(tǒng)組成，用戶可以選配不同型號(hào)的爐子和氣路系統(tǒng)搭配不同的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。
| 管式爐部分 | |
| 產(chǎn)品名稱 | 1700℃ CVD系統(tǒng) |
| 產(chǎn)品型號(hào) | T1760A-3Z |
| 爐膛模式 | 開啟式 |
| 顯示模式 | 高亮度LED數(shù)碼管 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁纖維 |
| 加熱元件 | 高純硅鉬棒 |
| 極限溫度 | 1700℃ |
| 工作溫度 | ≤1650℃ |
| 升溫速率 | ≤20℃ (建議:10℃/min) |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū) |
| 溫區(qū)長度 | 300mm |
| 恒溫區(qū)長 | 150mm |
| 爐管材質(zhì) | 剛玉管 |
| 爐管直徑 | 60mm（爐管內(nèi)徑：50mm） |
| 爐管長度 | 1000mm |
| 密封方式 | 真空法蘭 |
| 氣 密 性 | 7.8×10-4Pa |
| 控制模式 | 智能PID |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫度曲線 | 30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè) |
| 超溫報(bào)警 | 有 |
| 過流保護(hù) | 有 |
| 斷偶提示 | 有 |
| 測溫元件 | B型熱電偶 |
| 電氣認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
| 供電電源 | 220V 50Hz |
| 額定功率 | 4KW |
| 外形尺寸 | 700*510*720 mm |
| 售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保，終身保修 |
| 真空泵部分 | |
| 型號(hào) | CHY-4C |
| 抽速m/h(L/s) | 4(1.1) |
| 極限分壓強(qiáng)-無氣鎮(zhèn)（Pa） | 5×10-2 |
| 極限總壓強(qiáng)-無氣鎮(zhèn)（Pa） | 5×10-1 |
| 極限總壓強(qiáng)-有氣鎮(zhèn)（Pa） | 3 |
| 電源 | AC220V |
| 電機(jī)功率（KW） | 0.4/0.37 |
| 進(jìn)排氣連接口DN(mm） | KF16/25 |
| 用油量（L) | 0.6～1 |
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速（rpm） | 1440 |
| 流量計(jì)部分 | |
| 產(chǎn)品名稱 | 三路質(zhì)量氣體配比器 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | CHY-3Z |
| 流量計(jì)類型 | 質(zhì)子流量計(jì) |
| 流量計(jì)管芯 | 304不銹鋼 |
| 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
| 管道常態(tài) | 常閉 |
| 流量計(jì)外殼 | 黑色鋁殼 |
| 氣體種類 | 3種 |
| 接口尺寸 | 1/4" |
| 測量精度 | ±1.0%F.S |
| 線性度 | ±0.5%F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 壓力范圍 | -0.1-0.15 MPa |
| A路氣體測量范圍 | 0～100SCCM |
| B路氣體測量范圍 | 0～200SCCM |
| C路氣體測量范圍 | 0～500SCCM |
| 流量控制范圍 | 2%～100% |
| 零點(diǎn)溫漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 2S |
| 工作環(huán)境溫度 | (15～50℃) |
| 精度保證溫度 | (15～35℃) |
| 供電電源 | 220V 50Hz |
| 外形尺寸 | L700×W600×H580 |
| 設(shè)備重量 | 43kg |
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